真空泵应用于半导体工艺的安全事项水环式真空泵阀门的法兰连接形式

所属分类：行业动态

发布时间：2023-01-07

【概要描述】

真空泵应用于半导体工艺的安全事项水环式真空泵阀门的法兰连接形式

几十年来，跟着半导体技术的快速发展，半导体设备也在一代接一代地立异和发展。当今半导体设备的制造和使用涉及多种化学元素等诸多方面的高新技术，具有极强的技术综合性。不仅如斯，半导体设备技术的发展逐步将工艺技术模块化集成到设备中，使其高度自动化和高度智能化，逐步改变了设备与工艺天然分离的局面，时时走在半导体系体例造业发展的前列，施展着特殊的重要作用。半导体设备的进一步发展，使其应用领域变得越来越广，在其他电子器件制造领域也都不同程度地采用了半导体设备或由半导体设备演化的设备，成为半导体设备应用的新领域。尤其是在微/纳电子器件、微/纳光机电系统等极小尺寸和极高精度的产品制造领域的逐步应用，对电子元器件发展具有极其重要的意义。

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体出产制造过程中轻易产生易燃易爆以及有毒的物质气体，会对出产及职员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要留意的几个安全事项：

1、过滤、按期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经由反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者侵蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵机能，造成压力上升或超压，第二点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。

2、有效稀释有害气体的浓度：

半导体易产生前面所说的易燃易爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必需防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。好比SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时前提下的安全范围。

3、留意氧气的浓度：

空气中的氧假如浓渡过高也会发生燃烧及风险。所以一些情况下需留意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓渡过高；假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油，并及时更换油滤和油品。

4、防止温渡过高：

比较轻易理解这点，半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而不管是干式真空泵仍是油封机械泵，泵腔内温渡过高，高温下易燃易爆及有du气体就会轻易发生危险。

以上4个方面就是半导体真空泵应用中主要的几个安全事项。普诺克真空科技总的来说，油封式机械泵需要留意的安全细节比干式真空泵要更多，处置也更为复杂。当我们在使用真空泵的时候，需要留意到在导体中的使用安全留意事项，以及后期再使用时做好操纵使用手册。由于，小题目对运转、产量、效率和安全都有联，我们应该延长真空泵的使用寿命，努力协调平衡，保证效率与安全。

水环式真空泵阀门的法兰连接形式

按结合面外形可分为以下几种：

1、O形圈式：这是一种较新的水环式真空泵法兰连接形式，是跟着各种橡胶O形圈的泛起发展起来的，它在密封效果上比一般平垫圈可靠

2、梯形槽式：水环式真空泵的阀门法兰连接用卵形金属环作垫圈，使用于工作压力64公斤/平方厘米阀门或高温阀门

3、榫槽式：可用塑性变形较大的垫圈，在侵蚀性介质中使用较，对水环式真空泵的密封效果较好

4、凹凸式：水环式真空泵的工作压力较高，可使用中硬垫圈

5、透镜式：垫圈是透镜外形，用金属制作。用于工作压力100公斤/平方厘米的高压阀门或高温阀门

6、光滑式：用于压力不高的阀门，加工较利便

水环式真空泵的法兰连接固然有良多形式，但它们都有不同的使用场合，在使用时要留意其场合的相宜性，保障连接的效果，不要造成连接失败，导致对水环式真空泵的损害

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