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阀门厂家
蒙自电动高真空蝶阀
类别：
蒙自蝶阀
蒙自电动蝶阀
产品描述
电动高真空蝶阀
采用304/316L不锈钢阀体，镜面抛光处理，专为真空及负压工况设计。阀座采用氟橡胶或聚四氟乙烯密封，真空泄漏率≤1×10-9 Pa·m3/s，达到高真空级别。配电动执行器实现远程自动控制，适用于半导体、光伏、真空镀膜、科研院所等高真空管路系统。
电动高真空蝶阀 · 不锈钢阀体镜面抛光 · 配电动执行器
核心参数
| 型号 | D944X / D944F (真空专用) |
| 公称通径 | DN25 - DN300 |
| 适用真空度 | 105~10-7 Pa |
| 泄漏率 | ≤1×10-9 Pa·m3/s |
| 阀体材质 | 304 / 316L 不锈钢 |
| 密封材质 | FKM(氟橡胶) / PTFE / 全金属密封 |
| 连接方式 | 法兰式（GB/T 6070 / ISO 1609） |
| 介质温度 | -25~+150℃（FKM）/ -80~+200℃（PTFE） |
| 执行器类型 | 开关型 / 调节型 电动执行器 |
| 防护等级 | IP65 / IP67 |
产品概述
电动高真空蝶阀是莱科阀门面向真空及负压工况开发的高性能真空专用阀门，适用于高真空（HV）至超高真空（UHV）系统的气体流量控制。阀体全部采用304或316L优质不锈钢精密加工，与介质接触表面经镜面抛光处理，表面粗糙度Ra≤0.2μm，有效降低气体吸附和放气率。
阀门采用专用的真空密封结构，阀座密封材料可选氟橡胶（FKM）、聚四氟乙烯（PTFE）或全金属密封。氟橡胶密封可达高真空级别（≤10-7Pa），全金属密封可承受高温烘烤除气，适用于超高真空系统。阀杆采用波纹管密封结构，无动密封泄漏，保证真空度长期稳定。
阀体两端采用标准真空法兰连接，符合GB/T 6070、ISO 1609标准，可配合KF/ISO/CF等真空法兰接头使用。电动执行器支持开关型和调节型两种控制模式，可接收DCS/PLC系统控制信号实现远程自动控制，执行器断电时可手动操作。
产品广泛应用于半导体制造、光伏产业、真空镀膜、真空冶金、粒子加速器、科研院所等需要高真空环境的工艺管路系统，是高真空系统管路控制的关键元件。
技术参数规格
| 参数项目 | 规格参数 | 说明 |
|---|---|---|
| 阀门型号 | D944F-6 / D944X-6 (真空专用) | D=蝶阀, 9=电动, 4=法兰式, 4=真空专用, F/X=密封材质 |
| 公称通径 DN | DN25, DN40, DN50, DN63, DN80, DN100, DN160, DN200, DN250, DN300 | 含真空标准口径DN63/DN160等 |
| 公称压力 PN | PN6（正压侧）/ 负压（真空侧） | 可承受微正压至高真空，不可用于高压工况 |
| 适用真空度 | 105~10-7 Pa（FKM密封）/ 105~10-8 Pa（全金属密封） | 覆盖低真空至高真空/超高真空 |
| 泄漏率 | ≤1×10-9 Pa·m3/s（FKM）/ ≤1×10-10 Pa·m3/s（全金属密封+烘烤） | 采用氦质谱检漏仪检测 |
| 阀体材质 | 不锈钢 304 (CF8) / 316L (CF3M) | 304通用真空, 316L耐腐蚀超高真空 |
| 蝶板材质 | 不锈钢 304 / 316L（镜面抛光） | 与阀体同材质，表面Ra≤0.2μm |
| 阀座密封 | FKM（氟橡胶）/ PTFE（聚四氟乙烯）/ 全金属密封（铜/无氧铜） | FKM通用高真空, PTFE耐腐蚀, 全金属可烘烤超高真空 |
| 阀杆密封 | 不锈钢波纹管密封（316L/Inconel 625） | 波纹管动密封，无O型圈泄漏风险 |
| 阀杆材质 | 不锈钢 304 / 316L | 精磨抛光，抗扭强度高 |
| 连接方式 | 真空法兰（GB/T 6070 / ISO 1609） | 可配合KF/ISO/CF真空法兰接头 |
| 法兰标准 | GB/T 6070 / ISO 1609 / ANSI B16.5（可选） | 标准真空法兰，可定制非标 |
| 介质温度 | -25~+150℃（FKM）/ -80~+200℃（PTFE）/ -196~+400℃（全金属密封+烘烤） | 全金属密封可承受高温烘烤除气 |
| 适用介质 | 空气、惰性气体、水蒸气、弱腐蚀性气体 | 真空系统气体控制，避免粉尘颗粒介质 |
| 泄漏标准 | 符合GB/T 4982、ISO 1609真空密封标准 | 氦质谱检漏合格 |
| 表面处理 | 接触面：镜面抛光Ra≤0.2μm / 非接触面：亚光抛光Ra≤0.8μm | 机械抛光+电解抛光（可选），降低放气率 |
| 烘烤温度 | 全金属密封型≤400℃（可烘烤除气） | 超高真空系统除气工艺 |
电动执行机构参数
| 参数项目 | 规格 | 参数项目 | 规格 |
|---|---|---|---|
| 执行器型号 | RL-05 ~ RL-200系列 | 输出力矩 | 5N·m ~ 200N·m |
| 供电电压 | AC220V 50Hz / DC24V | 防护等级 | IP65 / IP67 |
| 控制方式 | 开关型: 通断控制 / 调节型: 4-20mA或0-10V | 反馈信号 | 无源触点 / 4-20mA（调节型） |
| 手动操作 | 手动旋钮，断电可操作 | 环境温度 | -10℃ ~ +60℃ |
| 电机功率 | 5W / 15W / 30W / 60W / 90W | 绝缘等级 | F级 |
| 接口标准 | ISO 5211 | 限位开关 | 机械式 / 电子式（可选） |
| 扭矩保护 | 机械限位 + 过扭保护 | 状态指示 | LED指示灯（开/关/故障） |
| 外壳材质 | 压铸铝合金，环氧喷涂 | 适用真空 | 执行器与真空介质隔离 |
材质特性
| 部件 | 材质 | 特性说明 |
|---|---|---|
| 阀体 | 不锈钢 304 (CF8) | 奥氏体不锈钢，耐一般腐蚀，真空放气率低，适用于一般高真空系统（≤10-6Pa）。精密铸造后机械抛光+酸洗钝化 |
| 阀体 | 不锈钢 316L (CF3M) | 超低碳含Mo不锈钢，耐点蚀和缝隙腐蚀，真空放气率极低，适用于超高真空系统（≤10-8Pa）和腐蚀性气体工况。316L焊接性能好，适合真空焊接结构 |
| 蝶板 | 不锈钢 304 / 316L | 与阀体同材质，流线型设计减少流阻和气体滞留。表面镜面抛光Ra≤0.2μm，降低气体吸附，避免虚漏 |
| 阀座密封 | FKM（氟橡胶） | 真空级氟橡胶，耐高温、耐油、耐有机溶剂，工作温度-25~+150℃，真空泄漏率≤10-9Pa·m3/s，适用于高真空（HV）系统，不适用于超高真空烘烤 |
| 阀座密封 | PTFE（聚四氟乙烯） | 耐化学腐蚀性最佳，真空放气率低，工作温度-80~+200℃，适用于腐蚀性气体真空系统和高真空工况。填充改性PTFE可提高耐磨性 |
| 阀座密封 | 全金属密封（无氧铜/铜合金） | 金属对金属密封，可承受400℃高温烘烤除气，真空泄漏率≤10-10Pa·m3/s，适用于超高真空（UHV）系统，需配合高温执行器 |
| 阀杆 | 不锈钢 304 / 316L | 精磨抛光处理，表面粗糙度Ra≤0.4μm。阀杆与蝶板采用销钉连接，销钉同为不锈钢材质 |
| 阀杆密封 | 不锈钢波纹管（316L / Inconel 625） | 波纹管密封是真空阀门的关键技术，将阀杆的动密封转化为波纹管的静密封，彻底消除动密封泄漏通道。波纹管材质316L通用，Inconel 625耐高温用于烘烤型阀门 |
| 执行器外壳 | 压铸铝合金，环氧喷涂 | 外壳防护等级IP65以上，执行器与真空介质完全隔离，不受真空环境影响。散热鳍片设计保证电机长时间运行 |
结构特征
波纹管密封
阀杆采用不锈钢波纹管密封结构，将动密封转化为静密封，彻底消除传统填料密封的泄漏通道。波纹管一端焊接在阀体上，另一端随阀杆运动，保证真空度长期稳定，是真空阀门的核心密封技术。
真空专用阀体
阀体采用不锈钢精密铸造，流道短直，减少死体积。所有与介质接触表面经镜面抛光处理，降低气体吸附和放气率。阀体两端为标准真空法兰，可匹配KF/ISO/CF等接头。
多种密封可选
阀座密封可选FKM（高真空HV）、PTFE（耐腐蚀）或全金属密封（超高真空UHV+烘烤）。全金属密封型可承受400℃高温烘烤除气，适用于需要超高真空的半导体和科研系统。
低放气率设计
所有与真空接触的表面均经精密抛光+酸洗钝化处理，表面粗糙度Ra≤0.2μm。可选电解抛光进一步降低放气率。密封材料选用低放气率真空级材料，保证系统极限真空度。
执行器隔离
电动执行器通过支架与阀体连接，执行器内部与真空介质完全隔离，不受真空负压影响。执行器可配开关型或调节型，支持远程DCS/PLC控制。
手动与保护
电动执行器配有手动旋钮，断电可操作阀门。机械限位和电气限位双重保护，防止过转。过扭矩保护机构在阀门卡阻时自动断电，保护波纹管和阀体。
外形尺寸表
| DN | 法兰标准 | L (mm) | D (mm) | D1 (mm) | H (mm) | H1 (mm) | n-d | 重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DN25 | KF25 | 40 | 70 | 50 | 155 | 40 | 4-6.6 | 1.5 |
| DN40 | KF40 | 45 | 85 | 55 | 165 | 45 | 4-6.6 | 2.0 |
| DN50 | KF50 | 50 | 110 | 75 | 180 | 55 | 4-8.5 | 2.8 |
| DN63 | ISO63 | 55 | 130 | 110 | 195 | 65 | 4-8.5 | 3.8 |
| DN80 | ISO80 | 65 | 145 | 125 | 210 | 82 | 8-8.5 | 5.2 |
| DN100 | ISO100 | 75 | 165 | 145 | 230 | 95 | 8-8.5 | 6.8 |
| DN160 | ISO160 | 90 | 225 | 200 | 270 | 125 | 8-11 | 12.5 |
| DN200 | ISO200 | 105 | 285 | 260 | 320 | 155 | 12-11 | 18.5 |
| DN250 | ISO250 | 120 | 335 | 300 | 380 | 185 | 12-14 | 28.0 |
| DN300 | ISO320 | 140 | 425 | 395 | 440 | 215 | 12-14 | 42.0 |
注：L=结构长度，D=法兰外径，D1=螺栓孔中心圆直径，H=执行器顶部至阀体底部高度，H1=阀体中心至阀杆顶部高度，n-d=法兰螺栓孔数量及直径。法兰标准可按GB/T 6070、ISO 1609或客户要求定制。以上尺寸供参考，具体以实际产品为准。
应用领域
| 半导体制造 | 刻蚀、CVD/PVD镀膜、离子注入、真空扩散炉等工艺管路气体控制 |
| 光伏产业 | 多晶硅铸锭炉、单晶硅拉晶炉、光伏电池镀膜设备真空系统 |
| 真空镀膜 | 光学镀膜、磁控溅射、蒸发镀膜、真空镀膜机气体/真空管路控制 |
| 真空冶金 | 真空感应熔炼炉、真空退火炉、真空热处理炉管路控制 |
| 科研院所 | 粒子加速器、真空实验系统、空间模拟舱、高能物理实验装置 |
| 航空航天 | 真空环境模拟、火箭发动机测试台、空间站真空系统 |
| 分析仪器 | 质谱仪、电子显微镜、真空分析系统样品室管路控制 |
安装与维护
安装注意事项
1. 安装前检查阀门型号、规格、真空等级是否与系统设计要求一致，确认阀体无损伤、执行器运转正常。
2. 安装前应使用无尘布蘸无水乙醇清洁阀体密封面和管道法兰密封面，去除油污和灰尘，确保密封面洁净无损伤。
3. 真空法兰安装时，使用配套真空密封圈（O型圈或金属密封垫），均匀紧固法兰螺栓，交叉对称拧紧，保证密封面均匀贴合。
4. 阀门可任意方向安装，建议阀杆水平放置；安装时确保管道对中，不得强行扭曲阀体。焊接法兰时需拆卸阀门，防止焊渣损伤密封面。
5. 执行器接线应由专业人员按照电气接线图操作，确保接地可靠；全金属密封型阀门烘烤时需拆卸执行器或选用高温执行器。
日常维护
1. 定期检查执行器运转状况，观察有无异响、过热现象，保持电气接线干燥清洁。
2. 定期检查真空法兰密封圈老化情况，如发现O型圈老化、龟裂或变形应及时更换；建议备品备件中常备密封圈。
3. 全金属密封型阀门烘烤除气时，应按照工艺要求缓慢升温降温，防止热应力损伤密封面。烘烤温度≤400℃。
4. 长期停用时，应将阀门处于关闭状态（保护密封面），执行器断电；存放环境应干燥无尘，阀体用无尘袋密封包装。
订货须知
1. 订货时请注明：阀门型号、公称通径DN、阀体材质（304/316L）、密封材质（FKM/PTFE/全金属）、连接方式及法兰标准、执行器类型（开关型/调节型）、电源电压、所需真空度等级。
2. 超高真空（UHV）工况请说明是否需要烘烤功能，全金属密封型需配高温执行器或可拆卸执行器。
3. 可提供材质证明书（3.1证书）、真空检漏报告、合格证等相关文件。法兰标准可按GB/T 6070、ISO 1609或客户图纸定制。
4. 产品质保期12个月，自发货之日起算（密封圈等易损件除外）。
专业工业阀门制造供应商
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本页面技术参数仅供参考，具体以实际产品技术协议为准
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